磁场中 ITER 第一反射镜的等离子体清洗
仪器与探测器
2015-12-09 v1 等离子体物理
摘要
为避免 ITER 光学诊断系统中的反射率损失，计划对金属第一反射镜进行等离子体溅射，以去除来自主壁（主要是铍和钨）的沉积物。因此，等离子体清洗必须适用于大型反射镜（尺寸可达 200*300 mm），并在强磁场（数特斯拉）影响下工作。本文介绍了在钼反射镜上沉积的铝和氧化铝（用作铍的替代物）的等离子体清洗结果。利用射频（13.56 MHz）氩等离子体，成功去除了通过磁控溅射沉积在反射镜（直径 98 mm）上的 260 nm 厚铝/氧化铝混合薄膜。在 0.35 T 磁场中，针对磁力线与反射镜表面之间的不同角度，从测试反射镜（直径 25 mm）上去除了 50 nm 的纯氧化铝。通过反射率测量、扫描电子显微镜和 X 射线光电子能谱评估了清洗效率。
引用
@article{arxiv.1411.6659,
title = {Plasma cleaning of ITER first mirrors in magnetic field},
author = {Lucas Moser and Roland Steiner and Frank Leipold and Roger Reichle and Laurent Marot and Ernst Meyer},
journal= {arXiv preprint arXiv:1411.6659},
year = {2015}
}
备注
5 pages, 6 figures and 1 table. Results presented on the 21st Plasma Surface Interaction conference held in Kanazawa Japan, May 2014