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利用扫描电压探针测量比接触电阻率

材料科学 2013-04-08 v2

摘要

传统的比接触电阻率测量在制造和模拟/计算方面都非常繁重,以解释复杂的几何形状和其他效应(如寄生电阻)。我们提出了一种更简单的几何结构来输送电流,并利用扫描电压探针感测沿样品表面的电势变化,从而可以直接推导出比接触电阻率。我们在两种材料均为薄膜的情况下展示了一个解析示例。文献中关于石墨烯的扫描开尔文探针测量实验数据证实了我们的模型计算。

关键词

引用

@article{arxiv.1212.4182,
  title  = {Measurement of specific contact resistivity using scanning voltage probes},
  author = {Weigang Wang and Malcolm R. Beasley},
  journal= {arXiv preprint arXiv:1212.4182},
  year   = {2013}
}