具有可调极性的高性能碳纳米管场效应晶体管
材料科学
2007-12-18 v1
摘要
最先进的碳纳米管场效应晶体管 (CNFETs) 表现为肖特基势垒 (SB) 调制的晶体管。众所周知，栅极氧化层的垂直按比例缩小可显著提升这些器件的性能。然而，减小氧化层厚度也会导致显著的双极型晶体管特性并增加漏极泄漏电流。采用一种新颖的器件概念，我们制备了高性能的增强型 CNFETs，其表现出 n 型或 p 型单极特性，可通过静电掺杂和/或化学掺杂进行调控，具有优异的关态性能和陡峭的亚阈值摆幅 (S =63 mV/dec)。该器件设计允许在保持所需器件特性的同时，对氧化层厚度和栅极长度进行积极的按比例缩小。
关键词
引用
@article{arxiv.cond-mat/0501690,
title = {High-Performance Carbon Nanotube Field-Effect Transistor with Tunable Polarities},
author = {Yu-Ming Lin and Joerg Appenzeller and Joachim Knoch and Phaedon Avouris},
journal= {arXiv preprint arXiv:cond-mat/0501690},
year = {2007}
}
备注
26 pages, 12 figures, accepted for IEEE Trans. Nanotechnology