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掺杂选择性涂层的轴向 p- 和 n型碳纳米管晶体管

介观与纳米尺度物理 2007-05-23 v1

摘要

制造了具有经过掩膜生长的单壁碳纳米管(SWNT)并进行后续栅极介质涂层的碳纳米管场效应晶体管(FET),其结构为轴向栅极。观察到FETs中的电子 Fabry-Perot 干涉,表明涂层结构中的运输呈球形。通过结合模式化生长 SWNT 数组和反馈控制的电气击穿来选择所需的半导� SWNT,实现了高性能 SWNT FET 的可靠大规模制造。通过掺杂选择性的碳纳米管涂层实现了 p型和 n型经过掩膜的 SWNT FET,使基于互补器件结构的活性电路制造成为可能。

关键词

引用

@article{arxiv.cond-mat/0508670,
  title  = {Coaxial p- and n-type carbon nanotube transistors with dopant-selective coatings},
  author = {Haibing Peng and Jene A. Golovchenko},
  journal= {arXiv preprint arXiv:cond-mat/0508670},
  year   = {2007}
}

备注

12 pages, 3 figures