固态材料的薄膜生长
材料科学
2016-11-24 v1
摘要
磁控溅射也被用于沉积某些材料的薄膜，具有重要的技术意义。本文对钇稳定氧化锆 (YSZ) 外延薄膜的沉积进行了建模，并研究了表面吸附原子的扩散。在溅射过程中，等离子体中形成的离子之间存在强烈的相互作用。在 Si 上沉积了 Cu 薄膜。SiCN 纳米复合薄膜表现出枝晶生长。
引用
@article{arxiv.1611.07926,
title = {Thin Film growth of Solid State materials},
author = {A. S Bhattacharyya and P. Prabhakar and R. P. Kumar and S. Sharma and S. K. Raj and R. Ratn and P. Kommu},
journal= {arXiv preprint arXiv:1611.07926},
year = {2016}
}
备注
6 Pages; 8 figures in Materials Science : Materials Reviews, 2016