微波辐照沉积 ZnO 薄膜的织构
材料科学
2017-09-29 v1
摘要
我们报道了通过微波辐照辅助方法生长的包含纳米棒的 ZnO 薄膜的晶体学织构。使用了不同的衬底，即 Si、Ge、金属涂层 Si、PMMA 涂层 Si 和 ITO 涂层玻璃，以考察各自的晶体学织构发展。通过 X 射线衍射和扫描电子显微镜对薄膜进行了表征，而织构分析则采用 Schultz 反射法进行 X 射线极图分析。沉积在 Si 和 Ge 上的 ZnO 薄膜显示出混合织构。在所有其他衬底上，获得了 c 轴取向的 ZnO 薄膜。
引用
@article{arxiv.1307.6704,
title = {Texture of ZnO thin films deposited through microwave irradiation},
author = {Piyush Jaiswal and Sanjaya Brahma and K. S. Suresh and S. A. Shivashankar and Satyam Suwas},
journal= {arXiv preprint arXiv:1307.6704},
year = {2017}
}