利用溶胶-凝胶法和纳米压印光刻制备表面图案化ZnO薄膜
材料科学
2011-08-22 v1 介观与纳米尺度物理
软凝聚态物质
化学物理
摘要
通过对ZnO溶胶进行直接压印及随后的退火工艺，制备了表面图案化的ZnO薄膜。将聚合物基ZnO溶胶沉积在各种基底上用于纳米压印光刻，并在热固化纳米压印过程中转化为表面图案化的ZnO凝胶薄膜。最后，通过对图案化的ZnO凝胶薄膜进行后续退火，获得了结晶ZnO薄膜。光学表征表明，ZnO薄膜的表面图案化可以导致透射率增强。利用这种溶胶-凝胶与纳米压印光刻技术的结合，可以通过各种易于制备的有序模板来制造具有不同图案的大面积ZnO薄膜。
引用
@article{arxiv.1108.3894,
title = {Fabrication of surface-patterned ZnO thin films using sol-gel methods and nanoimprint lithography},
author = {Shuxi Dai and Yang Wang and Dianbo Zhang and Xiao Han and Qing Shi and Shujie Wang and Zuliang Du},
journal= {arXiv preprint arXiv:1108.3894},
year = {2011}
}
备注
17 pages, 5 figures; Published in Journal of Sol-Gel Science and Technology, 2011