在极低预热温度下获得高品质c轴取向ZnO薄膜
材料科学
2007-05-23 v1
摘要
在非常低的预热温度下获得了取向优良的ZnO薄膜，采用旋涂溶胶技术。研究了c轴取向随预热温度的依赖性，并利用实验设计和响应面技术优化沉积工艺，以提高c轴取向和表面均匀性。本研究选取的优化变量为：预热温度、旋涂速度和涂覆层数。对薄膜进行X射线衍射和电子显微镜检测。
引用
@article{arxiv.cond-mat/0611495,
title = {High quality c-axis oriented ZnO thin-film obtained at very low pre-heating temperature},
author = {A. M. P. Santos and Edval J. P. Santos},
journal= {arXiv preprint arXiv:cond-mat/0611495},
year = {2007}
}
备注
5 pages, 5 figures, to appear in Materials Letters