解的依赖性电动喷雾沉积 (ESD) ZnO 薄膜生长过程
材料科学
2024-06-21 v1
摘要
本研究描述了一种利用解的依赖性电动喷雾沉积 (ESD) 方法生长 ZnO 薄膜的简便途径，制造温度范围为 300 {\deg}C - 500 {\deg}C。本文将氯化锌 (ZnCl2) 溶解于乙醇 (CH3CH2OH) 中，以 0.1 M 浓度配制 20 mL 的喷雾液。通过添加不同的去离子水 (H2O) 比例，配制了三种不同的溶液。结果表明，添加 H2O 比例可抑制 ZnO 薄膜的 c 轴晶生长。人们认为阴离子的黏附是这种抑制的原因。XRD 纹理分析检查了 (100) 和 (002) 平面的 ZnO 薄膜的首选取向。考察了晶格参数、键长、位置参数、全宽半高、晶粒尺寸、晶格应变和晶格位错密度等微结构参数。该研究标志着 ESD 制造的电子器件在成本效益方面的转折点，具有工业和商业应用的前景。
引用
@article{arxiv.2406.13313,
title = {Solution-dependent electrostatic spray deposition (ESD) ZnO thin film growth processes},
author = {Fysol Ibna Abbas and Mutsumi Sugiyama},
journal= {arXiv preprint arXiv:2406.13313},
year = {2024}
}
备注
20 pages, 7 figures