化学刻蚀辅助外延氧化锌的生长
材料科学
2009-10-13 v1
摘要
我们利用实时光谱偏振生长观测以及由此推导出的化学模型，开发了一种通过金属有机化学气相沉积在蓝宝石上外延生长致密二维氧化锌的方法。气相中形成的颗粒状氧化锌被用作沉积源。我们的实时数据提供了确凿证据：需要种子层；会沉积不需要的ZnO组分；但这些组分可以通过在短暂的净沉积和刻蚀周期之间循环来去除。沉积和刻蚀之间的转变发生在锌前驱体浓度仅相差13%的条件下。通过考虑所涉及的化学过程，可以理解这些机制。
引用
@article{arxiv.0910.2199,
title = {Chemical-etch-assisted growth of epitaxial zinc oxide},
author = {E. J. Adles and D. E. Aspnes},
journal= {arXiv preprint arXiv:0910.2199},
year = {2009}
}
备注
9 pages, 5 figures