基于新型简便水溶液化学沉积的高导电 RuO$_2$ 薄膜
材料科学
2023-10-31 v1 化学物理
摘要
以仅用水和乙酸作为溶剂，通过化学溶液沉积（CSD）在硅衬底上合成了二氧化钌（RuO）薄膜。表征了薄膜的微观结构、相纯度、电学及光学性质以及热稳定性。薄膜的微观结构强烈依赖于退火温度：在 600C 退火温度下获得了平滑薄膜。更高的退火温度（800C）导致径向晶粒长大和非均匀薄膜。对 600 下制备的 220 nm 厚薄膜测得极低电阻率 0.89 {\Omega}m。薄膜电阻率随温度升高而增大，表明金属性行为。通过 X 射线衍射（XRD）、X 射线光电子能谱（XPS）和拉曼光谱确认了薄膜的相纯度。透射与反射测量表明 RuO 有效阻挡 UV-VIS 与 IR 波长。通过光谱椭偏仪确定的光学常数显示在近红外区域有高吸收，在 UV-VIS 区域有较低吸收。通过后退火考察了热稳定性，确认薄膜在合成空气中稳定至 750C。
引用
@article{arxiv.2310.18319,
title = {Highly Conductive RuO$_2$ Thin Films from Novel Facile Aqueous Chemical Solution Deposition},
author = {Martina Angermann and Georg Jakopic and Christine Prietl and Thomas Griesser and Klaus Reichmann and Marco Deluca},
journal= {arXiv preprint arXiv:2310.18319},
year = {2023}
}
备注
Journal of Sol-Gel Science and Technology (2023)