反应溅射制备的透明氢化钇薄膜
材料科学
2011-09-14 v2
摘要
金属氢化物早先已被建议用于太阳能电池。以此为动机，我们通过反应磁控溅射沉积制备了氢化钇薄膜。在沉积过程中，对于较低的氢分压，所得薄膜呈金属性；而对于较高的氢分压，薄膜呈黑色或黄色透明。金属型和半导体型透明YHx薄膜均已直接原位制备，无需覆盖层和沉积后氢化处理。在光学性质上，这些薄膜与其他技术制备的YHx薄膜相似，但透明薄膜的晶体结构不同于众所周知的YH3相，因为它们具有fcc晶格而非hcp晶格。
引用
@article{arxiv.1102.0450,
title = {Transparent yttrium hydride thin films prepared by reactive sputtering},
author = {T. Mongstad and C. Platzer-Björkman and S. Zh. Karazhanov and A. Holt and J. P. Maehlen and B. C. Hauback},
journal= {arXiv preprint arXiv:1102.0450},
year = {2011}
}