富硅氮化硅中高效紧凑热光移相器
应用物理
2021-09-29 v1 光学
摘要
我们展示并实现了高折射率(在 {\lambda} = 1550 nm 处 n = 3.1)PECVD 富硅氮化硅(SRN)中低损耗超紧凑弯曲的设计、制备与表征,并将其用于实现高效、小占空比热光移相器。紧凑弯曲被构造为折叠波导几何结构,在 65 x 65 \mum2 区域内形成矩形螺旋,总有效波导长度为 1.2 mm。该器件具有 8 mW/{\pi} 的移相效率和 15 KHz 的 3 dB 开关带宽。我们提出 SRN 作为一种有前景的热光平台,结合了硅与化学计量氮化硅的特性。
引用
@article{arxiv.2106.09476,
title = {Efficient and compact thermo-optic phase shifter in silicon-rich silicon nitride},
author = {Hani Nejadriahi and Steve Pappert and Yeshaiahu Fainman and Paul Yu},
journal= {arXiv preprint arXiv:2106.09476},
year = {2021}
}
备注
4 page, 3 figures, 1 table