面向可见光的高效氮化硅热光移相器
光学
2022-03-02 v1 应用物理
摘要
我们展示了用于蓝、绿和黄波长的低功耗热光氮化硅波导移相器。由于悬浮结构和多程波导设计,该移相器以低功耗运行。这些器件在200毫米硅晶圆上使用深紫外光刻制造,作为有源可见光集成光子平台的一部分。实现相移的测得功耗(多个器件平均值)在445、488、532和561 nm波长下分别为0.78、0.93、1.09和1.20 mW。该移相器被集成到马赫-曾德尔干涉仪开关中,测得\%上升(下降)时间约为570(590) s。
引用
@article{arxiv.2111.07890,
title = {Power-Efficient Silicon Nitride Thermo-Optic Phase Shifters for Visible Light},
author = {Zheng Yong and Hong Chen and Xianshu Luo and Alperen Govdeli and Hongyao Chua and Saeed S. Azadeh and Andrei Stalmashonak and Guo-Qiang Lo and Joyce K. S. Poon and Wesley D. Sacher},
journal= {arXiv preprint arXiv:2111.07890},
year = {2022}
}
备注
Zheng Yong and Hong Chen contributed equally to this work