集成于氮化硅波导中的非晶硅可见光探测器
光学
2022-02-10 v1 应用物理
摘要
可见光集成光子学正成为实现用于传感、量子信息与通信、成像和显示应用的光学器件的一项有前景的技术。在现有光子平台中，高折射率对比度氮化硅（）波导在可见光波段具有宽带透明性和高集成度。随着光子集成电路（PICs）复杂性的增加，需要片上探测器来监测其工作点以进行重配置和稳定操作。在本工作中，我们提出一种集成于 波导中的紧凑型在线功率监测器，工作于红光波长范围（660 nm）。该器件利用作为光波导涂层的氢化非晶硅（a-Si:H）薄膜的光电导性。实验结果显示响应度为 30 mA/W、灵敏度为 -45 dBm、时间响应低于 s。这些特性使得所提出的光电导体可用于可见光 PICs 的高灵敏度监测与控制。
引用
@article{arxiv.2202.04413,
title = {Amorphous-silicon visible-light detector integrated in silicon nitride waveguides},
author = {Christian De Vita and Fabio Toso and Natale Giovanni Pruiti and Charalambos Klitis and Giorgio Ferrari and Marc Sorel and Andrea Melloni and Francesco Morichetti},
journal= {arXiv preprint arXiv:2202.04413},
year = {2022}
}