用于集成铌酸锂光子学的硅光电探测器
应用物理
2019-10-18 v1 光学
摘要
我们展示了在可见光波长范围内工作的非晶硅光电探测器与薄膜铌酸锂光子平台的集成。我们介绍了这种金属-半导体-金属光电探测器的设计、制造、集成和实验表征的细节，其在635 nm至850 nm波长范围的宽光学带宽上呈现出22 mA/W至37 mA/W的响应度。
引用
@article{arxiv.1910.04685,
title = {Silicon photodetector for integrated lithium niobate photonics},
author = {Boris Desiatov and Marko Lončar},
journal= {arXiv preprint arXiv:1910.04685},
year = {2019}
}