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用于耦合氮化硅光子线的紧凑型宽带低损耗锥形波导

应用物理 2018-08-01 v1 光学

摘要

我们在氮化硅平台上演示了一种超紧凑波导锥形结构。所提出的锥形波导在19.5 μm长度下提供95%的耦合效率,而连接10 μm宽波导与1 μm宽光子线的标准线性锥形波导长度为50 μm。该锥形波导具有跨越800 nm且大于75%的光谱响应,并对制备误差具有鲁棒性;锥形波导与末端波导宽度变化超过200 nm时,透射率变化小于5%。我们通过实验证明了对于短至19.5 μm的锥形波导,其插入损耗小于0.1 dB/过渡,并且与标准绝热锥形波导相比,光子器件的面积减少了50.8%。据我们所知,所提出的锥形波导是迄今报道的氮化硅中最短的波导锥形结构。

关键词

引用

@article{arxiv.1711.09831,
  title  = {Compact Broadband Low-Loss Taper for Coupling to a Silicon Nitride Photonic Wire},
  author = {Purnima Sethi and Rakshitha Kallege and Anubhab Haldar and Shankar Kumar Selvaraja},
  journal= {arXiv preprint arXiv:1711.09831},
  year   = {2018}
}