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用于绝缘体上硅光子线波导低损耗耦合的对准容差宽带紧凑锥形

应用物理 2020-01-01 v1 光学

摘要

我们在绝缘体上硅线波导中实验演示了一种宽带、制造容差、CMOS兼容的紧凑硅波导锥形(34.2 μm)。该锥形沿其长度方向基于多模干涉工作。单一锥形设计具有宽带工作特性,在700 nm带宽上耦合效率>70%,可用于O、C和L波段。该紧凑锥形对制造变化高度容差;锥形与末端波导宽度变化>100 nm时,锥形传输变化<5%。器件占位面积即锥形连同线性光栅约为442 μm²;比绝热锥形小11.5倍。带线性光栅的锥形提供了与标准使用的聚焦光栅相当的耦合效率。我们还比较了聚焦光栅与线性光栅的平移与旋转对准容差。

关键词

引用

@article{arxiv.1912.13479,
  title  = {Alignment Tolerant Broadband Compact Taper for Low-Loss Coupling to a Silicon-on-Insulator Photonic Wire Waveguide},
  author = {Purnima Sethi and Shankar Kumar Selvaraja},
  journal= {arXiv preprint arXiv:1912.13479},
  year   = {2020}
}

备注

arXiv admin note: substantial text overlap with arXiv:1705.01698