利用富硅氮化硅实现宽角度端射面光学相控阵
光学
2023-02-15 v1 应用物理
摘要
本文展示了一种使用高折射率(n = 3.1)富硅氮化硅(SRN)的16单元光学相控阵(OPA)的设计、制备与表征。我们展示了利用端射面天线在一维方向上实现宽达>115°的波束 steering，固定波长为1525 nm。在轴向测得光斑大小为0.11°，与理论一致。我们证明了SRN因其高热光系数、因可忽略的双光子吸收(TPA)带来的高光功率处理能力、宽透明窗口、低传播损耗以及CMOS兼容性，是芯片级OPA应用的可行材料选择。
引用
@article{arxiv.2209.13229,
title = {Realization of a wide steering end-fire facet optical phased array using silicon rich silicon nitride},
author = {Hani Nejadriahi and Prabhav Gaur and Karl Johnson and Steve Pappert and Yeshaiahu Fainman and Paul Yu},
journal= {arXiv preprint arXiv:2209.13229},
year = {2023}
}
备注
6 figures