基于多层 Si3N4/SiO2 平台的高效端射三维光学相控阵
应用物理
2020-04-22 v1 光学
摘要
光束转向器件如光学相控阵（OPA）是固态激光雷达与无线通信应用中的关键部件。传统单层光学相控阵（OPA）因光栅耦合器结构向下耦合导致的衬底泄漏而产生显著能量损耗。本工作中，我们研究了一种基于多层 Si3N4/SiO2 平台的结构，可形成三维 OPA，从器件边缘高效出射光，二维会聚的出耦合光束将以端射方式射向空气。数值演示了高效率与宽水平光束转向，并讨论了垂直串扰、延迟长度、波导层数与制备可行性的影响。
关键词
引用
@article{arxiv.1912.03326,
title = {High efficiency end-fire 3-D optical phased array based on multi-layers Si3N4/SiO2 platform},
author = {Dachuan Wu and Yasha Yi and Yuxiao Zhang},
journal= {arXiv preprint arXiv:1912.03326},
year = {2020}
}