砷化镓光学相控阵光子集成电路

在砷化镓光子集成电路平台上，通过低复杂度工艺制备了 16 通道光学相控阵。使用 1064 nm 外部激光器进行测试，该阵列表现出 0.92{\deg} 的束宽、15.3{\deg} 的无栅瓣转向范围以及 12 dB 的旁瓣电平。基于反向偏置 p-i-n 结构，元件相位调制器长 3 mm，直流功耗小于 5 ${\mu}$W，电光带宽大于 770 MHz。基于相同结构的独立 4 mm 长相位调制器在 980 nm 至 1360 nm 波长下测试时，其单边 V${\pi}{\cdot}$L 调制效率范围为 0.5 V${\cdot}$cm 至 1.23 V${\cdot}$cm。