由 PECVD 富硅非晶碳化硅制成的高效热光微环相移器
光学
2022-09-28 v1 应用物理
摘要
本工作中，表征了通过等离子体增强化学气相沉积制备的富硅非晶碳化硅（a-SiC）薄膜的热光系数（TOC）。我们发现薄膜的 TOC 随其硅含量增加而增大。测得 TOC 提升超过三倍，高达 ，可与晶体硅相媲美。通过将富硅 a-SiC 微环结构与 NiCr 加热器集成，还演示了一种高效热光相移器。在 1550 nm 光波长下测得调谐效率 低至 4.4 mW。这些发现使富硅 a-SiC 成为光子集成电路中热光应用的良好材料候选。
引用
@article{arxiv.2209.13033,
title = {Efficient thermo-optic micro-ring phase shifter made of PECVD silicon-rich amorphous silicon carbide},
author = {Li-Yang Sunny Chang and Steve Pappert and Paul K. L. Yu},
journal= {arXiv preprint arXiv:2209.13033},
year = {2022}
}
备注
13 pages, 1 table, 5 figures