薄膜合金定量X射线荧光分析中次级荧光激发的验证
材料科学
2020-10-13 v1 应用物理
化学物理
摘要
X射线荧光(XRF)分析因其非破坏性及易于自动化，成为直至 m 尺度薄膜定量分析广泛应用的技术。当要求分析结果的不确定度在百分之几范围内时，多元素样品中的非线性次级荧光效应会使原本直接的定量复杂化，因其相对贡献很容易超过 20%。常规的解决方案是依赖性能良好的参考样品，但这受限于其低可用性，尤其对薄膜应用。为应对此挑战，我们展示了一种具有显著次级荧光贡献的多层合金薄膜的灵活制备方法。我们使用无参考XRF分析来验证次级荧光物理模型的可靠性，其中包括详尽的不确定度估计。所研究的样品正被认定为XRF或其他定量分析的校准样品。
引用
@article{arxiv.2003.08930,
title = {Validation of secondary fluorescence excitation in quantitative X-ray fluorescence analysis of thin alloy films},
author = {André Wählisch and Cornelia Streeck and Philipp Hönicke and Burkhard Beckhoff},
journal= {arXiv preprint arXiv:2003.08930},
year = {2020}
}