基于定量磁力显微镜的杂散场测量不确定度分析

磁力显微镜（MFM）测量通常提供相位图像，其代表了纳米材料表面畴结构的特征。要基于 MFM 图像定量确定磁杂散场，需要磁针尖的标定特性。本工作提出了一种利用 Co/Pt 多层膜作为参考样品来标定磁针尖的方法，该参考样品具有稳定且已知的磁特性和明确的垂直带状畴。该方法基于傅里叶域中带维纳滤波的正则化反卷积过程，并采用 L 曲线法确定合适的正则化参数以获得物理上合理的结果。标定后的针尖被用于测试样品杂散场的可溯源定量确定，该测试样品的空间频率谱被参考样品的频谱所覆盖。根据《测量不确定度表示指南》，在考虑正则化显著影响定量分析这一事实下，估计了处理算法的不确定度。我们讨论了针尖标定过程和杂散场计算中相关的不确定度分量及其在实域与傅里叶域之间的传播，并提出了一种用于定量磁力显微镜的不确定度评估流程。