亚单分子层涂层作为 X 射线光谱学新型校准样品的表征
应用物理
2018-04-10 v1 仪器与探测器
摘要
随着现代 X 射线荧光（XRF）方法的出现与分析可靠性要求的提高，对合适参考样品的需求已增加。尤其在具有极低面质量沉积的纳米技术中，定量变得相当困难。然而适用参考样品的可得性远低于需求。受多层膜生产中对极精确薄膜参数的需求驱动，物理气相沉积（PVD）技术在过去十年显著进步。我们已应用这些技术开发面质量沉积在 ng 量级及以下的类层状参考样品。制备了多种参考样品：用于 XRF 与全反射 XRF（TXRF）分析各类应用的多元素层与极低（亚单分子层）样品。这些样品在 BESSY II 电子储存环的三条不同同步辐射光束线上，采用基于物理校准仪器的无参考 XRF 方法进行了表征与比对。此外，多元素涂层的均匀性在 DESY 的 P04 光束线处进行了检验。测量展示了制造过程中所实现的高精度，以及所呈参考样品的应用领域广泛性。
引用
@article{arxiv.1801.04246,
title = {Characterization of sub-monolayer coatings as novel calibration samples for X-ray spectroscopy},
author = {Philipp Hönicke and Markus Krämer and Lars Lühl and Konstantin Andrianov and Burkhard Beckhoff and Rainer Dietsch and Thomas Holz and Birgit Kanngießer and Danny Weißbach and Thomas Wilhein},
journal= {arXiv preprint arXiv:1801.04246},
year = {2018}
}