利用PPM程序从X射线反射率数据表征多层堆叠参数：测量与TEM结果比较
天体物理仪器与方法
2015-09-09 v1
摘要
未来的硬X射线（10-100 keV）望远镜（SIMBOL-X、Con-X、HEXIT-SAT、XEUS）将采用带有多层涂层的聚焦光学系统：鉴于这些光学系统的制造，我们正在探索多种用于反射涂层的沉积技术。为了评估可实现的光学性能，进行了X射线反射率（XRR）测量，它是深入表征多层特性（粗糙度、厚度和密度分布）的有力工具。然而，由于XRR扫描以复杂的方式依赖于堆叠参数，精确提取这些参数十分困难。过去几年在ERSF开发的PPM代码能够通过参数空间中的全局最小化程序，从半自动XRR扫描拟合中推导多层结构的逐层特性。在这项工作中，我们将展示利用简单电子束蒸发沉积的一些多层堆叠（Pt/C和Ni/C）的PPM建模。此外，为了验证PPM的预测，将所获得的结果与同一组样品上获取的TEM剖面进行比较。正如我们将展示的，PPM结果与TEM发现吻合良好。另外，我们表明精确的拟合给出了对堆叠中层厚度变化的物理正确评估，而从TEM剖面得出的厚度趋势可能因样品图像中粗糙度剖面的叠加而改变。
引用
@article{arxiv.1509.02264,
title = {Characterization of multilayer stack parameters from X-ray reflectivity data using the PPM program: measurements and comparison with TEM results},
author = {D. Spiga and A. Mirone and G. Pareschi and R. Canestrari and V. Cotroneo and C. Ferrari and C. Ferrero and L. Lazzarini and D. Vernani},
journal= {arXiv preprint arXiv:1509.02264},
year = {2015}
}