通过原子层沉积在石墨烯上衬底辅助成核超薄介电层
材料科学
2014-11-14 v1
摘要
我们报道了通过无籽晶原子层沉积在单层石墨烯上生长的 Al2O3 薄膜的润湿性得到了显著改善，且未产生点缺陷。这种增强的润湿性是通过利用底层金属衬底在石墨烯表面诱导的极性陷阱，从而大幅增加成核密度来实现的。随后，通过标准方法将所得的 Al2O3/石墨烯堆叠结构转移至 SiO2 上。
引用
@article{arxiv.1411.3484,
title = {Substrate-assisted nucleation of ultra-thin dielectric layers on graphene by atomic layer deposition},
author = {Bruno Dlubak and Piran R. Kidambi and Robert S. Weatherup and Stephan Hofmann and John Robertson},
journal= {arXiv preprint arXiv:1411.3484},
year = {2014}
}