用于可重写光栅的空间分辨绝缘体-金属转变
应用物理
2021-03-30 v2 光学
摘要
掺杂是调控金属氧化物性质以实现功能氧化物电子学的一种有效途径。此前我们开发了一种在常温常压下利用电子-质子协同掺杂策略的可控氢掺杂技术，使人摆脱传统技术所需的高温/高压处理。在此，基于这一简便掺杂途径，我们实现了三氧化钨（WO3）薄膜的可视且可逆的绝缘体-金属转变（MIT）。其出色的空间选择性可与标准紫外光刻相媲美，显示出成为可重写WO3光栅器件制备可行方法的潜力。此外，通过选择掺杂区域，所得WO3结构光栅的周期也可按需求轻易改变。这一先进掺杂技术为开发光学器件以及用于各类氧化物电子学的可重写离子器件和集成电路开辟了替代途径。
引用
@article{arxiv.2005.08819,
title = {Spatially-resolved insulator-metal transition for rewritable optical gratings},
author = {Yuliang Chen and Changlong Hu and Liyan Xie and Xiaoyu Zhou and Bowen Li and Hui Ren and Liang Li and Guobin Zhang and Jun Jiang and Chongwen Zou},
journal= {arXiv preprint arXiv:2005.08819},
year = {2021}
}
备注
16 pages, 4 figures