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利用暗场光学显微镜对 CVD 石墨烯进行无损快速评估

材料科学 2013-05-27 v1

摘要

展示了利用暗场 (DF) 光学显微镜直接在生长基底(铜箔)上对石墨烯进行无损和快速评估的方法。无需任何额外处理,通过 DF 成像即可在化学气相沉积 (CVD) 生长后立即快速识别具有不同覆盖率的铜箔上的石墨烯,其对比度可与扫描电子显微镜相媲美。研究发现,与明场光学成像相比,DF 成像对比度的提高是由于石墨烯下方的铜台阶对光的瑞利散射所致。事实上,由于不同厚度石墨烯区域下方的铜台阶高度不同,石墨烯叠层很容易被区分开来。

关键词

引用

@article{arxiv.1305.5754,
  title  = {Non-destructive and Rapid Evaluation of CVD Graphene by Dark Field Optical Microscopy},
  author = {Xianghua Kong and Hengxing Ji and Richard D. Piner and Huifeng Li and Carl W. Magnuson and Cheng Tan and Ariel Ismach and Harry Chou and Rodney S. Ruoff},
  journal= {arXiv preprint arXiv:1305.5754},
  year   = {2013}
}

备注

17 pages, including 4 figures and 5 supporting figures