利用镜筒内二次电子显微镜实现石墨烯的高对比度成像与厚度测定

我们报道了一种利用扫描电子显微镜对绝缘衬底上的石墨烯薄膜进行高对比度成像，从而定量估算石墨烯层厚度的新方法。通过使用镜筒内低能电子探测器检测从衬底发射的二次电子的衰减，我们获得了极高的厚度依赖对比度，从而能够对多达数层石墨烯的厚度进行定量估算。电子显微照片的纳米级空间分辨率也为石墨烯提供了一种简单的结构表征方案，该方案已应用于识别大面积化学气相沉积石墨烯中的断层、褶皱、空洞以及多层生长斑块。我们详细讨论了影响石墨烯图像对比度的因素，如差异表面充电和电子束诱导电流。