各向异性基底经历大变形时的修正Stoney方程
软凝聚态物质
2017-12-22 v1
摘要
沉积在基底上的薄膜中的残余应力会导致体系弯曲，这可利用著名的 Stoney 方程测量。基底的各向同性弹性以及无穷小微应变与转动是 Stoney 方程推导中使用的两个重要假设。然而，基底的横向挠度对其面内拉伸应变有显著贡献，导致其变形的非线性。此外，硅片主要被用作测量体系曲率的基底材料。本文针对由单晶 Si(001) 与 Si(111) 晶片制成的基底，推导了非线性变形 regime 下归一化基底曲率与归一化薄膜失配之间的关系。给出并讨论了具有 Si(001) 与 Si(111) 晶片基底、经历大变形的薄膜构型的曲率数值结果。
引用
@article{arxiv.1712.07974,
title = {Modified Stoney's equation with anisotropic substrates undergoing large deformations},
author = {Sai Sharan Injeti and Nihit Vyas and Ratna Kumar Annabattula},
journal= {arXiv preprint arXiv:1712.07974},
year = {2017}
}
备注
Preprint to be submitted