一维 Stoney 算法向二维情形的推广
软凝聚态物质
2019-09-10 v1 计算工程、金融与科学
摘要
本文给出了一维 Stoney 算法向二维情形的推广。所提出的推广在于修改曲率估计方法。沉积薄膜前与沉积后的晶圆表面轮廓由二次曲面局部近似。由该二次曲面分离出二次型与一次曲面。对该二次型矩阵求解了特征问题。由特征向量创建了新的坐标系，并在其中求得二次曲面的新表达式。在此新坐标系中，通过求解两个独立的一维曲率估计问题解决了估计曲率张量的二维问题。回到原坐标系，在该原坐标系中得到二维问题的解。本文提出了五种不同复杂度与精度的二维 Stoney 算法版本，并给出了可实际使用的算法版本建议。
引用
@article{arxiv.1909.03338,
title = {Extension of the one-dimensional Stoney algorithm to a two-dimensional case},
author = {Zenon Gniazdowski},
journal= {arXiv preprint arXiv:1909.03338},
year = {2019}
}
备注
26 pages, 5 figures