弹性基底上挠电薄膜 Stoney 方程的推广
应用物理
2026-01-15 v1
摘要
当薄膜沉积在不相容的弹性基底上时，薄膜会产生弹性失配应变，导致薄膜-基底系统发生弯曲。Stoney 方程将弯曲的薄膜-基底系统的曲率与薄膜中产生的残余应力联系起来，可用于通过曲率测量推断薄膜特性。某些材料表现出机电耦合，例如压电性和挠电性，这会改变曲率和应变。在本研究中，我们将 Stoney 方程推广以包含薄膜中的挠电和压电效应。考虑了开路和闭路配置，以及均匀和非均匀薄膜特性，我们比较了机电耦合的不同情况，并讨论了它们对薄膜曲率、应变和电极化的影响。
引用
@article{arxiv.2601.09160,
title = {Generalization of Stoney's equation for flexoelectric thin films on elastic substrates},
author = {Swarnava Ghosh},
journal= {arXiv preprint arXiv:2601.09160},
year = {2026}
}