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具有原位衬底夹持补偿的柔性锆钛酸铅薄膜中增强的铁电功能

应用物理 2019-04-01 v1

摘要

近来,柔性可穿戴集成电路设备备受关注,其强烈侧重于实时传感、计算与通信技术。铁电薄膜具有可切换极化和强机电耦合,因而广泛用于此类技术,但在弯曲时则不然。 extrinsic 应变对铁电薄膜的影响仍不清楚,主要由于缺乏允许在原位拉伸下进行跨结构-功能表征的合适实验系统。此外,尽管本征应变(如膜-衬底晶格失配引起)对铁电薄膜的影响已被广泛研究,但这些效应如何受外应变影响尚不清楚。在此,我们开发了一种原位均匀拉伸薄膜的方法,可在 AFM 和 XRD 下保持样品恒定拉伸条件进行功能与结构表征。利用该方法,我们拉伸了生长在柔性云母衬底上的代表性铁电体 PbZr0.2Ti0.8O3,以减小衬底夹持效应并增加四方性。结果我们提高了畴稳定性、降低了矫顽场值并减弱了 imprint 效应。该方法也允许直接表征其他柔性材料的晶格参数与纳米尺度性质之间的关系。

关键词

引用

@article{arxiv.1903.12341,
  title  = {Enhanced Ferroelectric Functionality in Flexible Lead Zirconate Titanate Films with In-Situ Substrate-Clamping Compensation},
  author = {Rachel Onn Winestook and Cecile Saguy and Chun-Hao Ma and Ying-Hao Chu and Yachin Ivry},
  journal= {arXiv preprint arXiv:1903.12341},
  year   = {2019}
}