最小化从 PDMS 转移的二维材料中的残留物与应变
材料科学
2018-05-10 v2
摘要
将层状二维（2D）材料集成到三维异质结构中，为电子与光子学中的新颖材料功能与应用提供了机遇。为构建最高质量的异质结构，关键在于保持转移过程中与 PDMS 等聚合物接触的二维材料表面的洁净度与形貌。本文报道，使用 PDMS 转移的单层 MoS 薄片中可能存在大量残留物以及高达约 0.22% 的压应变。我们表明，在剥离前对 PDMS 表面进行紫外臭氧预处理可显著减少转移后 MoS 薄片上的有机残留物。转移后再进行 200C 真空退火可有效消除界面气泡、褶皱以及累积应变，从而将转移薄片的表面形貌恢复至其本征状态。我们的方案对于构建洁净的二维材料异质结构以及提升基于此类材料的器件的可重复性与可靠性具有重要意义。
引用
@article{arxiv.1801.02971,
title = {Minimizing Residues and Strain in 2D Materials Transferred from PDMS},
author = {Achint Jain and Palash Bharadwaj and Sebastian Heeg and Markus Parzefall and Takashi Taniguchi and Kenji Watanabe and Lukas Novotny},
journal= {arXiv preprint arXiv:1801.02971},
year = {2018}
}
备注
To appear in Nanotechnology (2018)