Si(001) 表面颗粒膜形成的 Ge 团簇与润湿层
材料科学
2016-03-10 v1
摘要
本报告研究了在室温下沉积于 Si(001) 表面的 Ge 颗粒膜因快速加热及在 600°C 退火而转变为 Ge/Si(001) 异质结构的过程。在封闭体系条件下于 600°C 短期退火后，Ge 颗粒膜转变为通常的润湿层以及具有多峰尺寸分布的 Ge 团簇，并且出现数密度最高的 Ge 椭圆形液滴。在同温度对 Ge 膜进行长期热处理后，Ge 液滴消失；大团簇以较小团簇为代价增大尺寸。表面 Ge 团簇的总密度急剧下降。润湿层的混合 c(4×2)+p(2×2) 重构转变为单一的 c(4×2) 重构，后者可能在热力学上更有利。在任何退火后表面均未观察到金字塔或圆顶结构。
引用
@article{arxiv.1512.01574,
title = {Ge clusters and wetting layers forming from granular films on the Si(001) surface},
author = {M. S. Storozhevykh and L. V. Arapkina and V. A. Yuryev},
journal= {arXiv preprint arXiv:1512.01574},
year = {2016}
}
备注
A paper presented at the 17th Russian Youth Conference on Physics of Semiconductors and Nanostructures, Opto- and Nanoelectronics, 23-27 November 2015, St. Petersburg, Russia