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高温下 Ge/Si(001) 浸润层上 Ge 团簇的成核

材料科学 2012-05-11 v2

摘要

利用高分辨率扫描隧道显微镜,研究了在低温(< 600°C)和高温(> 600°C)下于 Si(001) 表面沉积 Ge 时,Ge 量子点成核过程的差异。在高温下,观察到两种导致 Ge 浸润层上出现 {105} 小面化团簇的过程:其一,金字塔状团簇通过先前描述的方式成核,即形成严格确定的、类似花朵的结构,由成对排列的 16 个二聚体以及浸润层 M×N 斑块顶部的 4 个二聚体链组成,每个结构位于单独斑块之上,这与低温下的情形一致;其二,另一种过程涉及在强吸附原子汇(如凹坑或台阶)附近出现的、由过量 Ge 原子构成的无定形堆积体的小面化。后一过程在低温下从未被观察到,仅为高温沉积模式所特有。

关键词

引用

@article{arxiv.1105.6012,
  title  = {Nucleation of Ge clusters at high temperatures on Ge/Si(001) wetting layer},
  author = {V. A. Yuryev and L. V. Arapkina},
  journal= {arXiv preprint arXiv:1105.6012},
  year   = {2012}
}

备注

13 pages, 4 figures; a revised version