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HfO{2-x}薄膜中受控氧空位诱导的p型导电性

材料科学 2011-11-14 v1

摘要

我们利用反应分子束外延,通过受控氧工程合成了高度缺氧的HfO_{2-x}薄膜。超过氧空位的某个阈值后,p型导电性开始出现,载流子浓度高达6×10²¹ cm⁻³。同时,带隙连续减小超过1 eV。我们认为,氧空位诱导的p型缺陷带是所观察到行为的起源。

关键词

引用

@article{arxiv.1111.2785,
  title  = {Controlled oxygen vacancy induced p-type conductivity in HfO{2-x} thin films},
  author = {Erwin Hildebrandt and Jose Kurian and Mathis M. Müller and Thomas Schroeder and Hans-Joachim Kleebe and Lambert Alff},
  journal= {arXiv preprint arXiv:1111.2785},
  year   = {2011}
}

备注

4 pages, 3 figures