基于亚微米尺寸 Al-AlOx-Al 隧道结的应变传感
介观与纳米尺度物理
2015-05-13 v1
摘要
我们展示了一种基于具有 AlOx 势垒的金属 Al 隧道结的纳米结构局部应变传感方法。这些结制备在薄氮化硅膜上，该膜通过连接在刚性悬臂上的 AFM 探针进行驱动。我们观察到，在施加应变下，隧道电阻出现了较大的相对变化（应变系数），其值高达 37。这使得能够测量低至约 10^{-7} 的局部静态应变变化。
引用
@article{arxiv.0906.4234,
title = {Strain sensing with sub-micron sized Al-AlOx-Al tunnel junctions},
author = {P. J. Koppinen and J. T. Lievonen and M. Ahlskog and I. J. Maasilta},
journal= {arXiv preprint arXiv:0906.4234},
year = {2015}
}
备注
4 pages, 3 figures