具有铰接顶板的自由边界三维 MEMS 模型 I:稳态情形
偏微分方程分析
2021-03-12 v1
摘要
本文研究一个建模三维静电 MEMS 器件的稳态自由边界问题。该器件由刚性接地板和在其边界处铰接的弹性顶板构成,两板施加不同电压。模型将描述顶板变形的非局部四阶方程与两板间自由域中静电势的 Laplace 方程相耦合。耦合强度由参数 调节,其与施加电压差的平方成正比。我们建立了 较小时稳定稳态解的存在性。当 足够大时,得到稳态解的不存在性。
引用
@article{arxiv.2103.06772,
title = {On a Free Boundary Model for Three-Dimensional MEMS with a Hinged Top Plate I: Stationary Case},
author = {Katerina Nik},
journal= {arXiv preprint arXiv:2103.06772},
year = {2021}
}