MEMS 电放电模型的数值分析
偏微分方程分析
2026-02-26 v1
摘要
我们研究了描述微电机系统 (MEMS) 中电放电的耦合非线性椭圆-抛物系统的局部良定性解。简单型 MEMS 电容装置包含两个电极，其中一个为柔性电极，两电极之间夹有狭窄的气体填充间隙。当柔性电极靠近另一电极时，便会发生电放电。本文中通过两个抛物方程描述电子与正离子密度，以及一个椭圆方程描述电势。我们证明了该耦合系统的弱解在时间上的局部存在性。采用此前用于漂移扩散方程研究的紧致技术，我们在证明中予以运用。
引用
@article{arxiv.2602.21439,
title = {Analysis of a Model for Electrical Discharge in MEMS},
author = {Heiko Gimperlein and Runan He and Andrew A. Lacey},
journal= {arXiv preprint arXiv:2602.21439},
year = {2026}
}
备注
30 pages