用于振动能量收集的新型 DRIE 图案化驻极体
材料科学
2012-10-03 v1
摘要
本文介绍了一种新的制造工艺，旨在利用深反应离子刻蚀 (DRIE) 步骤开发稳定的 SiO2/Si3N4 图案化驻极体，以应用于基于驻极体的振动能量收集器 (e-VEH)。该工艺包括形成连续的 SiO2/Si3N4 驻极体层，以限制表面传导现象，这是解决驻极体图案化问题的一种新途径。实验结果证明，经正电晕放电充电的图案化驻极体表现出优异的稳定性，具有高达 5mC/m^2 的高表面电荷密度（即使在 1.1\mu m 厚的层上），即便在精细图案化和严苛温度条件（高达 250{\deg}C）下也是如此。这为新型 e-VEH 的设计和制造工艺铺平了道路。
引用
@article{arxiv.1205.2383,
title = {New DRIE-Patterned Electrets for Vibration Energy Harvesting},
author = {S. Boisseau and A. -B. Duret and J. -J. Chaillout and G. Despesse},
journal= {arXiv preprint arXiv:1205.2383},
year = {2012}
}
备注
Proc. European Energy Conference, 2012