短篇通讯：用于基于驻极体的振动能量收集器的稳定 DRIE 图案化 SiO2/Si3N4 驻极体
材料科学
2011-12-01 v1
摘要
本文介绍了一种新的制造工艺，旨在利用深反应离子刻蚀（DRIE）步骤开发稳定的 SiO2/Si3N4 图案化驻极体，以应用于驻极体振动能量收集器（VEH）。通过正电晕放电充电的驻极体表现出优异的稳定性与高表面电荷密度，在 1.1\mum 厚的层上可达 5mC/m^{2}，即使在精细图案化（小至 25\mum）和严苛温度条件（高达 250{\deg}C）下依然如此，为新型驻极体 VEH 的设计与制造工艺铺平了道路。
关键词
引用
@article{arxiv.1111.7155,
title = {Short Communication: Stable DRIE-patterned SiO2/Si3N4 electrets for electret-based vibration energy harvesters},
author = {S. Boisseau and A. B. Duret and G. Despesse and J. J. Chaillout and J. S. Danel and A. Sylvestre},
journal= {arXiv preprint arXiv:1111.7155},
year = {2011}
}