一种硅基MEMS电磁振动能量采集器
应用物理
2020-01-08 v1 系统与控制
信号处理
系统与控制
摘要
本文提出了一种优化的硅基MEMS电磁振动能量采集器，适用于机器健康监测等应用。该采集器由DRIE刻蚀的硅悬臂、贴装式N42 NdBFe磁体和铜线圈组成，封装于3D打印外壳中。该采集器设计用于在近50 Hz、0.5-1 g振动下借助长行程悬臂工作。多域采集器优化实现了1.7 V开路电压、2.2 mW匹配负载功率输出，以及在1.1 g、谐振频率76.3 Hz下的1.23 mW/cm3匹配负载功率输出密度。
引用
@article{arxiv.1910.02131,
title = {A Silicon MEMS EM vibration energy harvester},
author = {Y. Yang and U. Radhakrishna and D. Ward and A. P. Chandrakasan and J. H. Lang},
journal= {arXiv preprint arXiv:1910.02131},
year = {2020}
}
备注
PowerMEMS 2018 conference