用于增强金刚石探测器电荷收集效率的三维叉指电极几何结构
仪器与探测器
2016-08-26 v1 材料科学
摘要
在这项工作中，利用反应离子刻蚀 (RIE) 技术制造了一种具有新型三维 (3D) 叉指电极几何结构的单晶 CVD 金刚石薄膜，旨在相对于标准表面电极提高电荷收集效率 (CCE)。由于电极的 3D 图案化导致的电场线几何排列，缩短了过剩电荷载流子的行进路径，从而有助于实现更高效的电荷收集机制。通过离子束诱导电荷 (IBIC) 技术绘制了该器件的 CCE 图。在不同偏压条件下，使用 1 MeV 质子微束在金刚石探测器活性区域上进行光栅扫描，能够探测样品表面以下深达 8 μm 处的电荷输运特性。数值模拟支持的实验结果表明，与标准表面金属电极获得的结果相比，3D 探测器的性能（即 CCE、能量分辨率、活性区域扩展）有显著改善。
引用
@article{arxiv.1608.07134,
title = {A 3-dimensional interdigitated electrode geometry for the enhancement of charge collection efficiency in diamond detectors},
author = {J. Forneris and A. Lo Giudice and P. Olivero and F. Picollo and A. Re and M. Marinelli and F. Pompili and C. Verona and G. Verona Rinati and M. Benetti and D. Cannata and F. Di Pietrantonio},
journal= {arXiv preprint arXiv:1608.07134},
year = {2016}
}
备注
5 pages, 4 figures