基于法拉第笼倾斜刻蚀技术的全金刚石扫描探针研制
量子物理
2021-04-13 v2 材料科学
摘要
我们提出一种利用法拉第笼倾斜刻蚀（FCAE）方法的单晶金刚石扫描探针新型制备工艺。作为最先进方法的电子束光刻（EBL）和电感耦合等离子体（ICP）刻蚀，往往在深宽比和复杂性方面限制可实现的金刚石结构几何形状。这带来了挑战，例如实现氮空位（NV）中心磁力扫描探针。将平面设计与FCAE相结合，相比已确立的纳米光机械金刚石器件制备技术具有若干优势。在此，我们报告两种方法的直接比较，并展示用于扫描探针应用的首批概念验证FCAE原型。
引用
@article{arxiv.2104.03680,
title = {Development of All-Diamond Scanning Probes Based on Faraday Cage Angled Etching Techniques},
author = {C. Giese and P. Quellmalz and P. Knittel},
journal= {arXiv preprint arXiv:2104.03680},
year = {2021}
}
备注
MRS Advances issue of MRS fall meeting 2019