利用等离子聚焦离子束研究固体中辐射效应的新方法
材料科学
2022-09-09 v1 加速器物理
应用物理
摘要
本文引入一种利用等离子聚焦离子束(PFIB)进行固体辐射效应基础研究的新方法。以单晶纯 Si 的离子诱导非晶化这一经典范例作为概念验证实验,阐明该新技术的优势与局限。我们展示了一种新离子辐照模式的可行性与创造性:该模式在多个特定位点、以多剂量对单一样品的多个区域进行辐照。本方法表明离子束对样品具有非常精确的控制,其通量误差仅约 1%。此外,与常规离子加速器和注入机相比,所提方法允许以更高剂量率辐照样品。该方法有望在极端材料之外的纳米图案化和纳米器件制造等领域开辟新的研究前沿。
引用
@article{arxiv.2206.14315,
title = {A New Methodology for Radiation Effects Studies in Solids using the Plasma Focused Ion Beam},
author = {M. A. Tunes and M. M. Schneider and C. A. Taylor and T. A. Saleh},
journal= {arXiv preprint arXiv:2206.14315},
year = {2022}
}