氢气等离子体抑制离子束材料重构
应用物理
2024-04-19 v1 仪器与探测器
摘要
聚焦离子束(FIB)技术广泛用于纳米加工和材料/器件加工。然而,离子照射常导致严重损伤,由于原子位移引发缺陷形成、迁移和聚集,这些缺陷在离子-固体相互作用体积中累积,从而降低材料功能,限制了FIB加工和纳米加工技术的应用。本文表明,通过在氢气等离子体环境下进行FIB照射,可通过化学途径修改缺陷结合能和传输动力学,以及材料剥离速率,从而抑制这种重构。该方法 minimally-invasive,且有潜力大幅扩展FIB纳米加工技术在功能材料和器件加工中的应用。
引用
@article{arxiv.2404.11779,
title = {Hydrogen plasma inhibits ion beam restructuring of materials},
author = {John A. Scott and James Bishop and Garrett Budnik and Milos Toth},
journal= {arXiv preprint arXiv:2404.11779},
year = {2024}
}