用于特殊 FIB 应用的硼液态金属合金离子源
仪器与探测器
2020-06-24 v1 材料科学
摘要
聚焦离子束（FIB）加工已在几乎所有纳米技术领域的研究与开发中被确立为适用于微纳及更小尺度图形化与原型制作的优良且有前景的技术。除其他概念外，液态金属合金离子源（LMAIS）是扩展 FIB 应用领域、替代传统镓束的方案之一。为满足对轻离子的日益增长需求，本工作研究了不同的含硼合金。在 Co31Nd64B5 基 LMAIS 中找到了一种有前景的解决方案，本文将更详细地介绍。除作为铁磁元素的钴与稀土元素钕外，硼尤其因特殊 FIB 应用（如局域 p 型掺杂）而受关注，目前对此已实现约 30 nm 的分辨率。
引用
@article{arxiv.2004.12722,
title = {Boron Liquid Metal Alloy Ion Sources For Special FIB Applications},
author = {Lothar Bischoff and Nico Klingner and Paul Mazarov and Wolfgang Pilz and Florian Meyer},
journal= {arXiv preprint arXiv:2004.12722},
year = {2020}
}