通过聚焦离子束铣削对铌酸锂基底进行纳米结构化
光学
2008-01-29 v1
摘要
我们报道了两种通过聚焦离子束 (FIB) 轰击在亚微米尺度上对铌酸锂 (LN) 进行图案化的新方法。第一种方法包括直接在 LiNbO3 上进行 FIB 铣削，第二种方法结合了在沉积金属层上的 FIB 铣削和随后的反应离子刻蚀 (RIE)。FIB 图像显示，在这两种情况下均具有均匀的结构和良好的周期性复现性。这些方法为在 LiNbO3 基底上制造光子晶体开辟了道路。
引用
@article{arxiv.0801.4201,
title = {Nanostructuring lithium niobate substrates by focused ion beam milling},
author = {F. Lacour and N. Courjal and M. P. Bernal and A. Sabac and C. Bainier and M. Spajer},
journal= {arXiv preprint arXiv:0801.4201},
year = {2008}
}